地形特征的成像和化学阶段差异，具有元素分析
SEM-EDX可用于提供小于直径为纳米的区域的表面元素组成信息。精细调谐的电子束扫描样品并从样品表面监测反射的电子。电子束的冲击产生X射线，该X射线是样品中元素的特性。SEM-EDX还能够分析多个斑点以产生样品表面的元素映射，其可以指示宽相或作为小局部杂质中存在的材料。SEM-EDX检测B到u的所有元素，检测限为1000-3000ppm，深度分辨率为0.5-3um，探针尺寸为15-45。
- 表面元素组成的鉴定
- 薄膜分析
- 检查表面形态学
- 粒子污染识别
- 识别痕量杂质斑点
