具有化学状态信息的高灵敏度表面元素分析
x射线光电子能谱(XPS)，又称化学分析电子能谱(ESCA)，是一种用于识别样品表面元素组成的方法(20-50Å)。使用单色x射线束，ESCA引起核心电子的发射。发射电子的动能等于入射x射线能量减去电子的结合能和仪器的功函数。所观察到的电子动能与结合能有关，这使得元素的识别成为可能。喷射的电子只能从大约3纳米或更小的深度逃逸，这使得电子能谱在研究固体材料表面时最有用。检测限，取决于元素，一般在~0.2%原子百分数的量级上。ESCA可以检测除H和He以外的所有元素，也可以用来表征与特定元素相关的特定官能团。
- 表面化学成分的信息
- 显示原子的化学环境
- 试样的氧化分析(氧化深度和氧化状态)
