具有化学状态信息的高灵敏度表面元素分析
X射线光电子能谱（XPS）又称为化学分析电子能谱（ESCA），是一种鉴定样品（20-50Å）表面元素组成的方法。使用单色X射线束，ESCA导致核心电子发射。发射电子的动能等于入射X射线能量减去电子的结合能和仪器的功函数。
然后，观察到的电子动能与结合能相关，从而可以识别元素。喷射出的电子只能从大约3纳米或更小的深度逸出，这使得电子光谱学对于研究固体材料的表面最为有用。根据元素的不同，检测限通常为~0.2%原子百分比。ESCA可检测除H和He之外的所有元素，也可用于表征与特定元素相关的特定官能团。
- 表面化学成分信息
- 显示原子的化学环境
- 试样的氧化分析（氧化深度和氧化状态）
