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XRD是表征晶体材料的无损技术。XRD可用于鉴定和量化大多数晶相。用单色x射线照射样品，导致辐照晶相的特征衍射图案。XRD可以检测所有元素，检测限为~1%，深度分辨率为~20埃~30微米，具体取决于材料特性和x射线入射角。
